偏光應力儀使用方法：

　　（一）定性測量

　　（1）接通電源撥動開關推向定性測量檔

　　（2）將檢偏振片手輪旋轉到零位刻度

　　（3）將上，下推拉桿，上推拉桿拉出，下推拉桿推進使全波片置入到光路之中，視場的顏色是紫紅色，

　　（4）試件置入到干涉場視場中，通過檢偏鏡觀察被測試件表面，根據干涉色定性地判斷退火質量（測件質量）如果視測試件放入光路中旋轉測件后視場的顏色基本不變，仍為紫紅色或者只輕微變化，（由暗紅到紫紅）說明退質量良好，如果試件某些部位，旋轉測件，干涉色變化較大（例如出現綠色或黃色）說明退火質量差。

　　（二）定量測量

　　（1）接通電源，將撥動開關推向定量測量檔，

　　（2）將檢偏鏡振片手輪旋轉到零位刻度。

　　（3）將上，下推拉桿，上推拉桿推進下推拉桿拉出使1/4 波片置入到光路中視場是暗視場

　　（4）將被測試樣放在工作臺上旋轉試件，如果旋轉大于45°被測件仍為暗視場則為無應力。

　　如果旋轉測件出現發亮部分，即為被測試件有應力，zui亮部位是應力zui大，旋轉視場中被測部位（即zui亮部位）成為暗視場，然后將載物臺旋轉45°再轉動檢偏鏡手輪使視場中測件的被測部位（亮的部位）成暗視場讀出檢偏振度盤值為度再乘3.27 即為被測件的應力，單位nm(納米)，測定應力角，每度相當于3.27nm 的光程差，量取測件的厚度即可計算出單位厚度的程差值。